坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,简称CMM)是有代表性的坐标测量仪器。早的坐标测量机是一个仅仅配备XYZ三轴数显的三维设备。对于谁发明坐标测量机一直存在争议。1950年代末,台坐标测量设备可能是由意大利DEA(Digital Electronic Automation Spa)公司发明的门式结构并配置刚性测头的测量机。几个月后,苏格兰的Ferranti Metrology(现在的IMS )发明了悬臂测量机,配置数显设备和刚性测头。1959年,Ferranti发明了台真正意义上的DCC(Direct Computer Assist) 坐标测量机。这台坐标测量机的发明可以标志着坐标测量机正式走上历史舞台。同样来自英国的LK Tool公司随后发明了台桥式坐标测量机,并在过去的数年中成为坐标测量机的标准构架。随着越来越多制造商的加入并对测量机进行改造,悬臂测量机、桥式测量机、龙门测量机、水平臂测量机、门式测量机、活动平台测量机、固定桥式测量机和关节臂测量机都成为坐标测量机的通用构架。
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