高纯水的国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：级、级、级、级和级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：
1.微电子工艺对水质的要求；
2.制水工艺的水平；
3.检测技术的现状。
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1.微电子工艺对水质的要求；
2.制水工艺的水平；
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