湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45。

洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及良好的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：

1．烦恼的效应由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率，层流罩。

2．对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神动作准确性工作速度

3．对综合通讯的干扰。

无尘室与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大，改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变，如果你材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。

对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘，根据传统理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的几率会减少，过滤效率会随之降低，但在实践中这种影响并不明显，因为风速小了，纤维对粉尘的反弹力也小了，粉尘更容易被粘住。

无尘车间风管的组对、连接长度应根据现场的施工现场的情况和吊装设备而进行确定。无尘车间风管连接采用的密封材料应满足系统功能的技术条件。

例如，防、排烟系统或输送温度高于70℃的空气或烟气的无尘车间，应采用耐热橡胶板或不燃的耐温、防火材料；输送含有腐蚀介质的气体，应采用耐酸橡胶板或软聚氯乙烯板。