单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。

工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。

工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。

洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。

洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。

一般情况下，净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室，尤其是半导体工业洁净室而言，其负荷特点是：由于排风量大造成新风量大，故新风处理所需冷量消耗大；送风量大，输送动力消耗大，风机管道温升高；生产设备的发热量大，消耗冷量大。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。

人是污染源的发源地：静坐时，人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);

每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。

半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80% 。