超精加工是采用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行精整加工。砂带磨削是采用高速运转的环形砂带加工工件表面的磨削。镜面磨削是达到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件,表面粗糙度不大于0.01微米,光如镜面,可以清晰成像。精密加工在制造业中处于十分重要的地位,常用于精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨和精密轴承等关键零件的加工。
传统的机械加工方法(普通加工)与精密和超精密加工方法一样。随着新技术、新工艺、新设备以及新的测试技术和仪器的采用,其加工精度都在不断地提高。
加工精度的不断提高,反映了加工工件时材料的分割水平不断由宏观进入微观世界的发展趋势。随着时间的进展,原来认为是难以达到的加工精度会变得相对容易。因此,普通加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念?其间的界限随着时间的推移不断变化。精密切削与超精密加工的典型代表是金刚石切削。
以金刚石切削为例。其刀刃口圆弧半径一直在向更小的方向发展。因为它的大小直接影响到被加工表面的粗糙度,与光学镜面的反射率直接有关,对仪器设备的反射率要求越来越高。如激光陀螺反射镜的反射率已提出要达到99.99%,这就必然要求金刚石刀具更加锋利。为了进行切极薄试验,目标是达到切屑厚度nm,其刀具刃口圆弧半径应趋近2.4nm。为了达到这个高度,促使金刚石研磨机改变了传统的结构。其中主轴轴承采用了空气轴承作为支承,研磨盘的端面跳动可在机床上自行修正,使其端面跳动控制在0.5μm以下。
刀具方面,采用金刚石砂轮,控制背吃刀量和进给量,在超精密磨床上,可以进行延性方式磨削,即纳米磨削。即使是玻璃的表面也可以获得光学镜面。2精密加工和超精密加工的发展趋势从长远发展的观点来看,制造技术是当前世界各国发展国民经济的主攻方向和战略决策,是一个国家经济发展的重要手段之一,同时又是一个国家独立自主、繁荣昌盛、经济上持续稳定发展、科技上保持的长远大计。