不论企业以前年度财务报表是否委托注册会计师进行审计，还是专项审计与年度财务报表审计是否为同一家会计师事务所承接，专项审计都可以按照《专项审计指引》独立实施审计程序。如果结合以前年度财务报表审计，确定的重要性水平应当低于相应财务报表审计的重要性水平，确定审计范围时应当考虑拟利用以前年度财务报表审计工作中获取的审计证据的程度。需要注意的是，应当结合具体环境考虑重要性的性质和数量两方面的因素。

与高新技术产品(服务)收入相关的内部控制包含在企业产品或服务的销售控制中，而如高新技术产品(服务)收入与研究开发激励或与销售奖励相关联时，企业一般会设计或增加相应的控制环节。注册会计师审计时，需要了解申报企业能否确保销售均已准确记录并对高新技术产品(服务)进行恰当分类。

在财务报表审计中，一般不专门提及与高新技术研究开发费用支出相关的内部控制。《专项审计指引》强调研究开发费用控制通常属于申报企业费用和成本控制的重要组成部分，要求注册会计师在对研究开发费用控制进行了解时，需要考虑那些影响研究开发费用完整性、发生、准确性和分类的控制点。同时，《专项审计指引》给出了研究开发业务流程通常可能包括的主要活动，如立项和预算管理、人员管理、材料和设备管理以及结项管理等。

高新审计依据高新技术企业认定办法相关规定，企业申请高新认定，需要对近三年的财务状况、研发费用支出情况及高新技术产品(服务)收入情况进行审计，出具审计专项报告和年度审计报告。

会计师会结合企业情况，给出一份准备材料的清单。主要是企业的资产负债表、损益表、总账、明细账、科目余额表(到末级科目)、财务凭证、公司的执照、章程等等。