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特点:
材料
B270、K9、石英等
面形
power<0.5λ
pv<0.2λ
光刻图案精度
<3±0.5um
外形加工精度
±0.03mm
同心度
<0.03mm
反射度
可依据客户具体指标定制
分划板的作用
定位和计算目标离你的距离。
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