臭氧是一种强氧化剂，过程属生物化学氧化反应。臭氧有以下3种形式：

1.臭氧能氧化分解内部降解葡萄糖所需的酶，致使TCA循环无法进行，从而导致细胞生命活动所需的ATP无法供应，使灭活死亡。

2.直接与、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使的新陈代谢受到破坏，导致死亡。

3.透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使发生通透性畸变而溶解死亡。